槽式超声波气相清洗机主要由超声波发生器（控制箱）、换能器、清洗缸、蒸馏回收系统、分水系统、冷冻系统、过滤系统、液位控制系统等组成，其中超声波发生器是产生电磁振荡信号并提供能量的工作部分，它可产生高于20KHZ的超声波电信号，提供给换能器；换能器把超声发生器所产生的电磁振动信号转化为换能器本身的 种超声振动，也就是把 种能量转换成另 种能量；清洗缸的主要作用是容纳清洗液和将要清洗的器件；蒸馏回收槽将溶剂蒸馏后重新利用；分水系统利用比重不同，液体互不相溶的原理，将溶液中的水分分离掉，使纯净的溶液补充到清洗槽内；冷冻系统在清洗槽和蒸汽洗槽的上部形成冷冻区，有效防止溶剂挥发，溶剂蒸汽在此区域转化成液体溶剂进行回收。另外，清洗的工件在此区域也能够迅速地被冷却干燥；过滤系统利用过滤循环将使用过的清洗液过滤再使用，从而降低生产成本；蒸汽槽液位可由液位控制系统控制液位
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