表面粗糙度轮廓仪由传感器、 驱动箱、指示表、 记录器和工作台等主要部件组成。电感传感器是轮廓仪的主要部件之 ，传感器测杆 端装有触针 （由于金刚石耐磨、 硬度高的特点， 触针多选用金刚石材质）， 触针的*要求曲率半径很小，以便于全面的反映表面情况。 测量时将触针*搭在加工件的被测表面上， 并使针尖与被测面保持垂直接触， 利用驱动装置以缓慢、 均匀的速度拖动传感器。 由于被测表面是 个有峰谷起伏的轮廓， 所以当触针在被测表面拖动滑行时， 将随着被测面的峰谷起伏而产生上下移动。 此运动过程又运用杠杆原理经过支点传递给磁芯， 使它同步地在电感线圈中作反向上下运动， 并将运动幅度放大， 从而使包围在磁芯外面的两个差动电感线圈的电感量发生变化， 并将触针微小的垂直位移转换为同步成比例的电信号。
传感器的线圈与测量线路直接接入由后续装备成的平衡电桥， 线圈电感量的变化使电桥失去了平衡， 于是就激发输出 个和触针上下位移量大小比的电量， 此时的这 电量比较微弱， 不易被察觉， 需要用电子装置将这 微弱电量的变化放大， 再经相敏检波后， 获得能表示触针位移量大小和方向的信号。 信号又可分为三路： 路加载在指示表上， 以表示触针的位置； 路输送至直流功率放大器， 放大后推动记录器进行记录； 路经滤波和平均表放大器放大之后， 进入积分计算器， 进行积分计算， 由指示表直接读出表面粗糙度参数值。
这种仪器的测量范围通常为Ra0.02~10μm，其中有少数型号的仪器还可以测定更小的参数值。仪器配有各种附件，以适应平面、内外圆柱面、圆锥面、球面、曲面、小孔、沟槽等形状的工件表面测量， 测量迅速方便， 且精度较高 。
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