影响影像测量仪精度的因素主要有精度指示、结构原理、测量方法、日常不注意维护等。 中国1994年实行了国际《坐标测量的验收检测和复检测量》的实施。具体内容如下：
1部分：测量线性尺寸的坐标测量机;
2部分：配置转台轴线为 四轴的坐标测量机;
3部分：扫描测量型坐标测量机;
4部分：多探针探测系统的坐标测量机;
5部分：计算高斯辅助要素的误差评定。 在测量空间的任意7种不同的方位，测量 组5种尺寸的量块，每种量块长度分别测量3次所有测量结果必须在规定的MPEE值范围内。
大允许探测误差(MPEP)：25点测量精密标准球，探测点分布均匀。 大允许探测误差MPEP值为所有测量半径的 大值。
ISO 10360-3 (2000) “配置转台轴线为 四轴的坐标测量机” ：对于配备了转台的测量机来说，测量机的测量误差在这部分进行了定义。主要包含三个指标：径向四轴误差(FR)、切向四轴误差(FT)、轴向四轴误差(FA)。
ISO 10360-4 (2003) “扫描测量型坐标测量机” ：这个部分适用于具有连续扫描功能的坐标测量机。它描述了在扫描模式下的测量误差。
大多数测量机制造商定义了"在THP情况下的空间扫描探测误差"。在THP之外，标准还定义了在THN、TLP和TLN情况下的扫描探测误差。 沿标准球上4条确定的路径进行扫描。 大允许扫描探测误差MPETHP值为所有扫描半径的 大差值。THP说明了沿已知路径在密度 大的点上的扫描特性。注：THP的说明必须包括总的测量时间，例如：THP = 1.5um (扫描时间是72 秒)。
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